ES-50PM压电升降台可用于空间有限的条件下。 ES-50PM升降台由专利多相压电电机驱动,并配有两个机械限位开关。三个十字滚子轴承确保光滑高刚度的动作。ES-50PM允许非常刚性的XZ或XYZ设置,与PPS-60,VT-50和PPX-50系列组合时,需要适配器支架的线性阶段。 可在真空(10-6)下运行的版本。 ES-50PM与MMC-103和MMC-110控制器兼容。
主要特征
1.行程范围10 mm
2.十字滚子轴承
3.1 nm闭环分辨率
4.集成机械限位开关
5.负载能力高达1公斤
6.真空版本可用