气浮平台超精密机械中的一种典型结构，通过静压气浮隔离机械运动副之间的接触，提高平台机构运动精度，具有非常优秀的平面度、直线度，克服了传统机械定位台行程短，响应滞后大，摩擦阻力等不足。具有非常优秀的动态性能及极低的误差水平。

　　产品介绍
凭借多年的精密机械加工及装配经验，采用最优参数及合理的精度分配，掌握了气浮平台从设计到制造的全套技术，成功设计研发出多款气浮平台。ABLS-300气浮平台实现了长行程高精度与高速定位功能，在半导体光刻设备，精密测量和生物医学等领域中具有不可替代的作用。

应用领域

精密加工

精密测量

微电子制造业

光刻机平台

半导体加工业

扫描

产品特性

◆ 重复定位精度高

◆ 俯仰偏摆角度小

◆ 性能稳定

◆ 没有机械损耗

◆ “零”摩擦可使其进入纳米级应用

◆ 运动台与导轨使用同种材料，在温度变化较大的工况下不会出现气浮台常见的“抱死”现象。

技术参数

ABLS-300气浮平台将首次亮相于7月3至5日在国家会展中心举行的慕尼黑上海光博会。真挚的期待您和同事及行业友人共同参与，在展会现场与三英精控面对面共话行业热点。